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VFT | 真空光纤馈通

    上海闻奕光电科技有限公司的VFT真空光纤馈通是连接真空室内光纤的装置,如等离子体的监控。真空光纤馈通包括一个带Viton型密封圈的M12螺丝,和2个SMA光纤接头,可以方便地和光纤探头连接(需要额外订购两个SMA905光纤适配器)。由多种型号的真空通管与所有芯径的光纤匹配,从9 µm到1000 µm,而且分别有UV200~1100nm和IR400~2500nm波长型号,还可以根据客户要求定制。


VFT真空光纤馈通概述

    闻奕光电提供的VFT真空光纤馈通可以将光导入或导出真空室,以实现超高真空的应用场合,例如半导体处理的光学监测和薄膜吸附的最终检测。

在隔空箱和高压应用场合下有较好的表现,真空度高达最大 10^-7 mbar ,操作温度为200 °C(定制最高达300 °C)。

真空室要求壁厚5-40 mm,在腔体上开一个直径12mm的圆孔即可,注意紧贴O型圈的一面尽量光洁无划痕。

使用光洁度高的金属或者玻璃腔体,使VFT在超高真空应用场合的表现得到提高。

VFT光纤过真空装置除了在半导体和薄膜处理方面的应用,还是环境检测、药物学处理和光学涂层生产的理想工具。它还可以应用在分子束外延和化学物理的蒸汽吸附方面,可以作为配合隔空箱、手套箱和中压装置的性能优异的通管。

VFT真空光纤馈通的高压与低压面的终端可与SMA905连接器相连接,可以简单地与闻奕光电的光纤、光源、配件共同使用,以及本公司的光谱仪等光学设备。

VFT真空光纤馈通有一个M12外螺纹,可以直接拧在开好M12螺纹孔的腔体上,或可以用预备好的螺帽和垫圈旋入一个光滑的孔。装配过程非常简单,只需通过一个SMA905光纤适配器把光纤和VFT真空光纤馈通连接起来即可。在样品室的低压面,我们建议用户选配金属护套的石英光纤配套。

VFT真空光纤馈通的光纤直径有9μm、50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000μm可选;波长可选UV200~1100nm和IR400~2500nm,可选配SMA905或者FC接头。

订购选型
型号 芯经 波长范围 接头
多模阶跃型石英光纤
VFT-50-UV 50 µm 深紫外 200~1100nm SMA905(可接受定制)
VFT-50-IR 50 µm 近红外 380~2500nm
VFT-100-UV 100 µm 深紫外 200~1100nm
VFT-100-IR 100 µm 近红外 380~2500nm
VFT-200-XSR 200 µm 抗紫外 185~1100nm
VFT-200-IR 200 µm 近红外 380~2500nm
VFT-400-XSR 400 µm 抗紫外 185~1100nm
VFT-400-IR 400 µm 近红外 380~2500nm
VFT-600-XSR 600 µm 抗紫外 185~1100nm
VFT-600-IR 600 µm 近红外 380~2500nm
VFT-800-UV 800 µm 深紫外 200~1100nm
VFT-800-IR 800 µm 近红外 380~2500nm
VFT-1000-UV 1000 µm 深紫外 200~1100nm
VFT-1000-IR 1000 µm 近红外 380~2500nm
单模光纤-SM
VFT-SMF28-xx 9.2 ± 0.4 µm 1200~1700nm FC/PC或者FC/APC(可接受定制)
VFT-SM630-xx 3.6 - 5.3 µm  620~850nm
VFT-SM780-xx 5.0 ± 0.5 µm 750~1000nm
VFT-SM850-xx 4.7 - 6.9 µm 800~1000nm
多模渐变型光纤-MMF
VFT-MM50-xx 50/125 µm 800~1700nm FC/PC或者FC/APC(可接受定制)
VFT-MM62.5-xx 62.5/125 µm 800~1700nm
选件
使用温度范围 -30°~+200°(HT高温可达到300°)
适配器 每个过真空装置需要配2只对应接头的适配器

选配配件

VFT光纤过真空装置可以定制配套的真空法兰盘,如KF16、KF25、KF40等



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